슬롯게임 순위 ╇ 신규 릴게임 ╇㎗ 16.rax781.top □켐트로닉스가 구축한 5N(99.999%) 초고순도 PGMEA 양산 설비. 켐트로닉스 제공


코스닥 상장사 켐트로닉스가 반도체 핵심 소재인 5N(99.999%) 초고순도 PGMEA 양산 설비를 완공하고, 3개 이상의 글로벌 반도체업체에 본격 공급을 개시했다고 23일 밝혔다. 켐트로닉스는 지난 2022년 친환경·초고순도 PGMEA 자체 개발에 성공했다. 이후 양산을 위해 약 600억 원 규모의 정제 및 합성 설비를 구축했다.
양산에 성공한 PGMEA는 EUV·ArF용 세정공정에 쓰이는 씬너(Thinner)의 주원료로, 불필요한 포토레지스트(PR)을 제거하는 공정에 핵심 용제로 공급된다. PGMEA는 EUV·ArF용 노광 공정에서 PR, 주택대출신청 BARC(Bottom Anti-Reflection Coating), SOH(Spin-on Hardmasks) 주원료로 활용된다.
켐트로닉스는 이번 제품에서 금속성 불순물을 10PPT 이하로 최소화했다. 5N 이상의 초순도로 'PR Soft Bake' 공정 후 금속성 잔류물에 의한 노광 시 빛의 반사 및 산란 등의 불량을 현저히 줄였다. 인 국민미소금융재단 체 유해물질로 알려진 베타아이소머 함량이 1PPM 이하로 일본·중국 수입 제품(150~300 PPM) 대비 현저히 낮췄다.
켐트로닉스는 2006년 전자재료연구소 설립 이후 지속적인 R&D 투자(2024~25년 상반기 기준 4%대)를 통한 엔지니어 역량을 강화해 고순도 소재 개발에 집중해왔다. 그 결과 22년 국산화 이래 4년만에 글로벌 반 대학생대출 도체업체에 본격 공급에 들어갔다.
특히 5N 초고순도 PGMEA는 기존 팹에 적용될 뿐아니라, 향후 신규로 건설될 국내외  파운더리 팹에도 적용될 것으로 예상돼 향후 수요량 급증이 예상된다, 켐트로닉스는 빠른 증설을 통해 연간 2만5000t인 현재의 생산 역량을 5만t 규모로 확대하는 것을 고려하고 있다.
켐트로닉스 관계 하나은행 대출 자는 “최초 설계 시부터 증설을 염두해두고 투자를 진행해 왔다"며 "일부 반응기에 대한 추가 투자만으로 고객사의 수요를 빠르게 충족할 수 있다"고 밝혔다. 이어 "복수의 글로벌 반도체 업체 공급 확정을 통해 향후 안정적인 수익창출 및 향후 공급 확대를 위한 기반을 마련했다"고 밝혔다.
켐트로닉스는 포토·식각 공정용 소재를 PGMEA에서 P 10등급대출은행 GME, NMEA, PGEE, Triacetin 등 다양한 소재의 개발 및 양산 성과를 기반으로 반도체 소재 전문기업으로서 입지를 강화하고 있다. 반도체 소재 이외에도 반도체 유리기판 TGV 공정 개발, 웨이퍼 Reclaim 등 반도체 부품 사업을 확대해 종합 반도체 기업으로 성장한다는 계획이다.
김응수 켐트로닉스 대표는 “이번 purisol PMA(켐트로닉스의 PGMEA 제품 브랜드) 대량 양산의 성공은 회사가 그동안 준비해온 반도체향 초고순도 제품의 기획과 개발, 제조, 그리고 품질관리 역량이 모두 결집되어 이루어낸 성과” 로 “최고의 품질 수준을 지향하는 많은 고객사들에게 최고 품질의 제품을 안정적으로 공급하여 업계 표준이 될 수 있도록 노력할 것” 이라고 밝혔다.
황정환 기자 jung@hankyung.com